TY - JOUR A1 - Emmrich, Daniel A1 - Wolff, Annalena A1 - Meyerbröker, Nikolaus A1 - Lindner, Jörg K. N. A1 - Beyer, André A1 - Gölzhäuser, Armin T1 - Scanning transmission helium ion microscopy on carbon nanomembranes JF - Beilstein Journal of Nanotechnology PY - 2021/// VL - 12 SP - 222 EP - 231 SN - 2190-4286 DO - 10.3762/bjnano.12.18 PB - Beilstein-Institut JA - Beilstein J. Nanotechnol. UR - https://doi.org/10.3762/bjnano.12.18 KW - carbon nanomembranes KW - dark field KW - helium ion microscopy (HIM) KW - scanning transmission ion microscopy (STIM) KW - SRIM simulations N2 - A dark-field scanning transmission ion microscopy detector was designed for the helium ion microscope. The detection principle is based on a secondary electron conversion holder with an exchangeable aperture strip allowing its acceptance angle to be tuned from 3 to 98 mrad. The contrast mechanism and performance were investigated using freestanding nanometer-thin carbon membranes. The results demonstrate that the detector can be optimized either for most efficient signal collection or for maximum image contrast. The designed setup allows for the imaging of thin low-density materials that otherwise provide little signal or contrast and for a clear end-point detection in the fabrication of nanopores. In addition, the detector is able to determine the thickness of membranes with sub-nanometer precision by quantitatively evaluating the image signal and comparing the results with Monte Carlo simulations. The thickness determined by the dark-field transmission detector is compared to X-ray photoelectron spectroscopy and energy-filtered transmission electron microscopy measurements. ER - TY - BOOK T1 - Helium Ion Microscopy PY - 2016/// DO - 10.1007/978-3-319-41990-9 PB - Springer International Publishing CY - Cham, Switzerland A2 - Hlawacek, G. A2 - Gölzhäuser, A. T3 - NanoScience and Technology ER - TY - JOUR AU - Leppänen, M. AU - Sundberg, L.-R. AU - Laanto, E. AU - de Freitas Almeida, G. M. AU - Papponen, P. AU - Maasilta, I. J. JF - Adv. Biosyst. PY - 2017/// VL - 1 IS - 8 SP - 1700070 DO - 10.1002/adbi.201700070 ER - TY - JOUR AU - Schürmann, M. AU - Frese, N. AU - Beyer, A. AU - Heimann, P. AU - Widera, D. AU - Mönkemöller, V. AU - Huser, T. AU - Kaltschmidt, B. AU - Kaltschmidt, C. AU - Gölzhäuser, A. JF - Small PY - 2015/// VL - 11 SP - 5781 EP - 5789 DO - 10.1002/smll.201501540 ER - TY - JOUR AU - Hlawacek, G. AU - Veligura, V. AU - van Gastel, R. AU - Poelsema, B. JF - J. Vac. Sci. Technol., B: Nanotechnol. Microelectron.: Mater., Process., Meas., Phenom. PY - 2014/// VL - 32 SP - 20801 DO - 10.1116/1.4863676 ER - TY - JOUR AU - Ramachandra, R. AU - Griffin, B. AU - Joy, D. JF - Ultramicroscopy PY - 2009/// VL - 109 SP - 748 EP - 757 DO - 10.1016/j.ultramic.2009.01.013 ER - TY - JOUR AU - Wirtz, T. AU - De Castro, O. AU - Audinot, J.-N. AU - Philipp, P. JF - Annu. Rev. Anal. Chem. PY - 2019/// VL - 12 IS - 1 SP - 523 EP - 543 DO - 10.1146/annurev-anchem-061318-115457 ER - TY - JOUR AU - Kollmann, H. AU - Piao, X. AU - Esmann, M. AU - Becker, S. F. AU - Hou, D. AU - Huynh, C. AU - Kautschor, L.-O. AU - Bösker, G. AU - Vieker, H. AU - Beyer, A. AU - Gölzhäuser, A. AU - Park, N. AU - Vogelgesang, R. AU - Silies, M. AU - Lienau, C. JF - Nano Lett. PY - 2014/// VL - 14 SP - 4778 EP - 4784 DO - 10.1021/nl5019589 ER - TY - JOUR AU - Kalhor, N. AU - Boden, S. A. AU - Mizuta, H. JF - Microelectron. Eng. PY - 2014/// VL - 114 SP - 70 EP - 77 DO - 10.1016/j.mee.2013.09.018 ER - TY - JOUR AU - Emmrich, D. AU - Beyer, A. AU - Nadzeyka, A. AU - Bauerdick, S. AU - Meyer, J. C. AU - Kotakoski, J. AU - Gölzhäuser, A. JF - Appl. Phys. Lett. PY - 2016/// VL - 108 SP - 163103 DO - 10.1063/1.4947277 ER - TY - JOUR AU - Röder, F. AU - Hlawacek, G. AU - Wintz, S. AU - Hübner, R. AU - Bischoff, L. AU - Lichte, H. AU - Potzger, K. AU - Lindner, J. AU - Fassbender, J. AU - Bali, R. JF - Sci. Rep. PY - 2015/// VL - 5 SP - 16786 DO - 10.1038/srep16786 ER - TY - JOUR AU - Aramesh, M. AU - Mayamei, Y. AU - Wolff, A. AU - Ostrikov, K. K. JF - Nat. Commun. PY - 2018/// VL - 9 SP - 835 DO - 10.1038/s41467-018-03316-7 ER - TY - JOUR AU - Winston, D. AU - Cord, B. M. AU - Ming, B. AU - Bell, D. C. AU - DiNatale, W. F. AU - Stern, L. A. AU - Vladar, A. E. AU - Postek, M. T. AU - Mondol, M. K. AU - Yang, J. K. W. AU - Berggren, K. K. JF - J. Vac. Sci. Technol., B: Microelectron. Nanometer Struct.–Process., Meas., Phenom. PY - 2009/// VL - 27 SP - 2702 DO - 10.1116/1.3250204 ER - TY - JOUR AU - Flatabø, R. AU - Agarwal, A. AU - Hobbs, R. AU - Greve, M. M. AU - Holst, B. AU - Berggren, K. K. JF - Nanotechnology PY - 2018/// VL - 29 SP - 275301 DO - 10.1088/1361-6528/aabe22 ER - TY - JOUR AU - Melli, M. AU - Polyakov, A. AU - Gargas, D. AU - Huynh, C. AU - Scipioni, L. AU - Bao, W. AU - Ogletree, D. F. AU - Schuck, P. J. AU - Cabrini, S. AU - Weber-Bargioni, A. JF - Nano Lett. PY - 2013/// VL - 13 SP - 2687 EP - 2691 DO - 10.1021/nl400844a ER - TY - JOUR AU - Bell, D. C. AU - Lemme, M. C. AU - Stern, L. A. AU - Williams, J. R. AU - Marcus, C. M. JF - Nanotechnology PY - 2009/// VL - 20 SP - 455301 DO - 10.1088/0957-4484/20/45/455301 ER - TY - JOUR AU - Tan, S. AU - Klein, K. AU - Shima, D. AU - Livengood, R. AU - Mutunga, E. AU - Vladár, A. JF - J. Vac. Sci. Technol., B: Nanotechnol. Microelectron.: Mater., Process., Meas., Phenom. PY - 2014/// VL - 32 SP - 6 DO - 10.1116/1.4900728 ER - TY - JOUR AU - Marshall, M. M. AU - Yang, J. AU - Hall, A. R. JF - Scanning PY - 2012/// VL - 34 IS - 2 SP - 101 EP - 106 DO - 10.1002/sca.21003 ER - TY - JOUR AU - Notte, J., IV AU - Hill, R. AU - McVey, S. M. AU - Ramachandra, R. AU - Griffin, B. AU - Joy, D. JF - Microsc. Microanal. PY - 2010/// VL - 16 SP - 599 EP - 603 DO - 10.1017/s1431927610093682 ER - TY - JOUR AU - Hall, A. R. JF - Microsc. Microanal. PY - 2013/// VL - 19 SP - 740 EP - 744 DO - 10.1017/s1431927613000500 ER - TY - JOUR AU - Woehl, T. J. AU - White, R. M. AU - Keller, R. R. JF - Microsc. Microanal. PY - 2016/// VL - 22 SP - 544 EP - 550 DO - 10.1017/s1431927616000775 ER - TY - JOUR AU - Kavanagh, K. L. AU - Herrmann, C. AU - Notte, J. A. JF - J. Vac. Sci. Technol., B: Nanotechnol. Microelectron.: Mater., Process., Meas., Phenom. PY - 2017/// VL - 35 IS - 6 SP - 06G902 DO - 10.1116/1.4991898 ER - TY - JOUR AU - Turchanin, A. AU - Gölzhäuser, A. JF - Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) PY - 2016/// VL - 28 SP - 6075 EP - 6103 DO - 10.1002/adma.201506058 ER - TY - JOUR AU - Turchanin, A. AU - Gölzhäuser, A. JF - Prog. Surf. Sci. PY - 2012/// VL - 87 SP - 108 EP - 162 DO - 10.1016/j.progsurf.2012.05.001 ER - TY - JOUR AU - Beyer, A. AU - Vieker, H. AU - Klett, R. AU - Meyer Zu Theenhausen, H. AU - Angelova, P. AU - Gölzhäuser, A. JF - Beilstein J. Nanotechnol. PY - 2015/// VL - 6 SP - 1712 EP - 1720 DO - 10.3762/bjnano.6.175 ER - TY - JOUR AU - Turchanin, A. AU - Beyer, A. AU - Nottbohm, C. T. AU - Zhang, X. AU - Stosch, R. AU - Sologubenko, A. AU - Mayer, J. AU - Hinze, P. AU - Weimann, T. AU - Gölzhäuser, A. JF - Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) PY - 2009/// VL - 21 SP - 1233 EP - 1237 DO - 10.1002/adma.200803078 ER - TY - JOUR AU - Ziegler, J. F. AU - Ziegler, M. D. AU - Biersack, J. P. JF - Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B PY - 2010/// VL - 268 SP - 1818 EP - 1823 DO - 10.1016/j.nimb.2010.02.091 ER - TY - JOUR AU - Turchanin, A. AU - Käfer, D. AU - El-Desawy, M. AU - Wöll, C. AU - Witte, G. AU - Gölzhäuser, A. JF - Langmuir PY - 2009/// VL - 25 IS - 13 SP - 7342 EP - 7352 DO - 10.1021/la803538z ER - TY - JOUR AU - Lesiak, B. AU - Jablonski, A. AU - Prussak, Z. AU - Mrozek, P. JF - Surf. Sci. PY - 1989/// VL - 223 SP - 213 EP - 232 DO - 10.1016/0039-6028(89)90735-8 ER - TY - JOUR AU - Malis, T. AU - Cheng, S. C. AU - Egerton, R. F. JF - J. Electron Microsc. Tech. PY - 1988/// VL - 8 SP - 193 EP - 200 DO - 10.1002/jemt.1060080206 ER - TY - JOUR AU - Iakoubovskii, K. AU - Mitsuishi, K. AU - Nakayama, Y. AU - Furuya, K. JF - Microsc. Res. Tech. PY - 2008/// VL - 71 SP - 626 EP - 631 DO - 10.1002/jemt.20597 ER - TY - JOUR AU - Meyer, J. C. AU - Eder, F. AU - Kurasch, S. AU - Skakalova, V. AU - Kotakoski, J. AU - Park, H. J. AU - Roth, S. AU - Chuvilin, A. AU - Eyhusen, S. AU - Benner, G. AU - Krasheninnikov, A. V. AU - Kaiser, U. JF - Phys. Rev. Lett. PY - 2012/// VL - 108 SP - 196102 DO - 10.1103/physrevlett.108.196102 ER - TY - JOUR AU - Marchon, B. AU - Gui, J. AU - Grannen, K. AU - Rauch, G. C. AU - Ager, J. W. AU - Silva, S. R. P. AU - Robertson, J. JF - IEEE Trans. Magn. PY - 1997/// VL - 33 IS - 5 SP - 3148 EP - 3150 DO - 10.1109/20.617873 ER - TY - JOUR AU - Chu, P. K. AU - Li, L. JF - Mater. Chem. Phys. PY - 2006/// VL - 96 SP - 253 EP - 277 DO - 10.1016/j.matchemphys.2005.07.048 ER - TY - JOUR AU - Börrnert, F. AU - Avdoshenko, S. M. AU - Bachmatiuk, A. AU - Ibrahim, I. AU - Büchner, B. AU - Cuniberti, G. AU - Rümmeli, M. H. JF - Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) PY - 2012/// VL - 24 SP - 5630 EP - 5635 DO - 10.1002/adma.201202173 ER - TY - JOUR AU - Nottbohm, C. T. AU - Turchanin, A. AU - Beyer, A. AU - Stosch, R. AU - Gölzhäuser, A. JF - Small PY - 2011/// VL - 7 SP - 874 EP - 883 DO - 10.1002/smll.201001993 ER -