TY - JOUR A1 - Abou Chaaya, Adib A1 - Viter, Roman A1 - Bechelany, Mikhael A1 - Alute, Zanda A1 - Erts, Donats A1 - Zalesskaya, Anastasiya A1 - Kovalevskis, Kristaps A1 - Rouessac, Vincent A1 - Smyntyna, Valentyn A1 - Miele, Philippe T1 - Evolution of microstructure and related optical properties of ZnO grown by atomic layer deposition JF - Beilstein Journal of Nanotechnology PY - 2013/// VL - 4 SP - 690 EP - 698 SN - 2190-4286 DO - 10.3762/bjnano.4.78 PB - Beilstein-Institut JA - Beilstein J. Nanotechnol. UR - https://doi.org/10.3762/bjnano.4.78 KW - atomic layer deposition KW - optical properties KW - photoluminescence KW - thin films KW - ZnO N2 - A study of transmittance and photoluminescence spectra on the growth of oxygen-rich ultra-thin ZnO films prepared by atomic layer deposition is reported. The structural transition from an amorphous to a polycrystalline state is observed upon increasing the thickness. The unusual behavior of the energy gap with thickness reflected by optical properties is attributed to the improvement of the crystalline structure resulting from a decreasing concentration of point defects at the growth of grains. The spectra of UV and visible photoluminescence emissions correspond to transitions near the band-edge and defect-related transitions. Additional emissions were observed from band-tail states near the edge. A high oxygen ratio and variable optical properties could be attractive for an application of atomic layer deposition (ALD) deposited ultrathin ZnO films in optical sensors and biosensors. ER - TY - JOUR AU - Özgür, Ü. AU - Alivov, Ya. I. AU - Liu, C. AU - Teke, A. AU - Reshchikov, M. A. AU - Doğan, S. AU - Avrutin, V. AU - Cho, S.-J. AU - Morkoç, H. JF - J. Appl. Phys. PY - 2005/// VL - 98 SP - 041301 DO - 10.1063/1.1992666 ER - TY - JOUR AU - Chou, S. M. AU - Teoh, L. G. AU - Lai, W. H. AU - Su, Y. H. AU - Hon, M. H. 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