TY - JOUR A1 - Folkersma, Steven A1 - Bogdanowicz, Janusz A1 - Schulze, Andreas A1 - Favia, Paola A1 - Petersen, Dirch H. A1 - Hansen, Ole A1 - Henrichsen, Henrik H. A1 - Nielsen, Peter F. A1 - Shiv, Lior A1 - Vandervorst, Wilfried T1 - Electrical characterization of single nanometer-wide Si fins in dense arrays JF - Beilstein Journal of Nanotechnology PY - 2018/// VL - 9 SP - 1863 EP - 1867 SN - 2190-4286 DO - 10.3762/bjnano.9.178 PB - Beilstein-Institut JA - Beilstein J. Nanotechnol. UR - https://doi.org/10.3762/bjnano.9.178 KW - critical dimension metrology KW - electrical characterization KW - finFET KW - micro four-point probe KW - sheet resistance N2 - This paper demonstrates the development of a methodology using the micro four-point probe (μ4PP) technique to electrically characterize single nanometer-wide fins arranged in dense arrays. We show that through the concept of carefully controlling the electrical contact formation process, the electrical measurement can be confined to one individual fin although the used measurement electrodes physically contact more than one fin. We demonstrate that we can precisely measure the resistance of individual ca. 20 nm wide fins and that we can correlate the measured variations in fin resistance with variations in their nanometric width. Due to the demonstrated high precision of the technique, this opens the prospect for the use of μ4PP in electrical critical dimension metrology. ER - TY - JOUR AU - Hisamoto, D. AU - Lee, W.-C. AU - Kedzierski, J. AU - Takeuchi, H. AU - Asano, K. AU - Kuo, C. AU - Anderson, E. AU - King, T.-J. AU - Bokor, J. AU - Hu, C. JF - IEEE Trans. Electron Devices PY - 2000/// VL - 47 SP - 2320 EP - 2325 DO - 10.1109/16.887014 ER - TY - CHAP AU - Schroder, D. K. T2 - Series Resistance, Channel Length and Width, and Threshold Voltage T1 - Semiconductor Material and Device Characterization PY - 2006/// SP - 185 EP - 250 PB - Wiley-Interscience CY - New York, NY, U.S.A. ER - TY - JOUR AU - Petersen, D. H. AU - Hansen, O. AU - Hansen, T. M. AU - Bøggild, P. AU - Lin, R. AU - Kjær, D. AU - Nielsen, P. F. AU - Clarysse, T. AU - Vandervorst, W. AU - Rosseel, E. AU - Bennett, N. S. AU - Cowern, N. E. B. JF - J. Vac. Sci. Technol., B PY - 2010/// VL - 28 SP - C1C27 DO - 10.1116/1.3224898 ER - TY - JOUR AU - Clarysse, T. AU - Bogdanowicz, J. AU - Goossens, J. AU - Moussa, A. AU - Rosseel, E. AU - Vandervorst, W. AU - Petersen, D. H. AU - Lind, R. AU - Nielsen, P. F. AU - Hansen, O. AU - Merklin, G. AU - Bennett, N. S. AU - Cowern, N. E. B. JF - Mater. Sci. Eng., B PY - 2008/// VL - 154–155 SP - 24 EP - 30 DO - 10.1016/j.mseb.2008.09.038 ER - TY - JOUR AU - Thorsteinsson, S. AU - Wang, F. AU - Petersen, D. H. AU - Hansen, T. M. AU - Kjær, D. 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